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控制高純度系統(tǒng)中的細菌的方法之一是使用高純度水處理臭氧發(fā)生器作為消毒劑，有效的方法是將臭氧溶解于罐內(nèi)的高純度水中，然后在將水送入分配循環(huán)之前去除臭氧。

臭氧發(fā)生器系統(tǒng)的設(shè)計要素整個臭氧水儲存和分配系統(tǒng)將包括儲水箱、循環(huán)泵、臭氧發(fā)生器、紫外線破壞的臭氧層、水箱入口排氣過濾器、水箱出口排氣破壞和三個溶解臭氧監(jiān)測器。

循環(huán)消毒處理臭氧發(fā)生器能產(chǎn)生臭氧。大氣中的氧氣含量在20%左右。利用空氣產(chǎn)生臭氧就會有效果，而且會通過環(huán)境空氣中的氧氣產(chǎn)生臭氧。氧氣濃度越高，會產(chǎn)生越多的臭氧。